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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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目前接觸的plasma清洗機(jī)噴出的溫度和特性是怎么樣的?

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       依據(jù)plasma清洗機(jī)中的重粒子溫度,前人把等離子體分成2類,高溫等離子體和低溫等離子體。以3000K-30000K,基本達(dá)到了熱力學(xué)平衡,具有統(tǒng)一的熱力學(xué)平衡溫度,可通過麥克斯韋的熱力學(xué)平衡態(tài)速度分布,波爾茲曼粒子能量分布,沙哈方程等方法確定等離子體狀態(tài)和參數(shù)。高溫等離子體能量密度極高,這個主要用在材質(zhì)的合成、球化、致密性和涂層保護(hù)。

plasma清洗機(jī)

       在低溫等離子體中,重粒子的溫度和室溫差不多,而電子的溫度是上萬度,因此遠(yuǎn)離熱力學(xué)平衡狀態(tài),例如輝光放電屬于低溫等離子體。冷等離子主要用于等離子蝕刻、沉積和等離子表面裝飾。電洗滌溫度是許多用戶關(guān)心的問題,電洗滌時,電洗滌火焰看起來也和一般的火焰差不多,而電洗滌設(shè)備如采用中頻電源,功率大,能量猛,不加水冷溫度也很高,若洗滌材料不耐溫,則需注意溫度。
一、plasma清洗機(jī)刻蝕
在等離子體的作用下,材料表面的一些化學(xué)鍵發(fā)生斷裂,形成小分子產(chǎn)物或被氧化,使材料表面變得凹凸不平,粗糙度增加。
二、plasma清洗機(jī)活化,清洗
        在等離子體作用下,難粘塑料表面出現(xiàn)部分活性原子、自由基和不飽和鍵,這些活性基團(tuán)與等離子體中的活性粒子接觸會反應(yīng)生成新的活性基團(tuán)。但是,帶有活性基團(tuán)的材料會受到氧的作用或分子鏈段運(yùn)動的影響,使表面活性基團(tuán)消失,因此經(jīng)等離子體處理的材料表面活性具有一定的時效性。
三、plasma清洗機(jī)接枝
        在等離子體對材料表面改性中,由于等離子體中活性粒子對表面分子的作用,使表面分子鏈斷裂產(chǎn)生新的自由基、雙鍵等活性基團(tuán),隨之發(fā)生表面交聯(lián)、接枝等反應(yīng)。
四、plasma清洗機(jī)聚合
        會在材料表面聚合產(chǎn)生一層沉積層,沉積層的存在有利于提高材料表面的粘接能力。在低溫等離子體對難粘塑料進(jìn)行處理時,以上4種作用形式會同時出現(xiàn)。


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