等離子噴涂在電子工業中的應用增強材料表面附著力

等離子（電漿）噴涂是一種材料表面強化和表面改性技術，能使基體表面具有耐磨、耐腐蝕、耐高溫氧化、電絕緣、隔熱、防輻射、減磨、密封等性能。在等離子噴涂的基礎上，發展了幾種新的等離子噴涂技術，如：真空等離子噴涂(又稱低壓等離子噴涂)真空等離子噴涂技術可以控制氣氛，在4~40Kpa的密封室內噴涂。由于工作氣體等離子化后，是在低壓氣氛中邊膨脹體積邊噴出，因此噴出速度為超音速，非常適合對氧化高度敏感的材料。

等離子技術的應用前景：

等離子體是與固體、液體和氣體不同的第四種物質。物質由分子組成，分子由原子組成，原子由帶正電的原子核和帶負電的電子組成。施加高能量后，電子離開原子核，物質成為由帶正電的原子核和帶負電的電子構成的等離子體。看似神秘的等離子體并不少見。很常見的等離子體是高溫電離氣體，如電弧、霓虹燈、熒光燈中的發光氣體、太陽、閃電、極光等。等離子體廣泛應用于半導體工業、新能源工業、聚合物薄膜、材料防腐、冶金、煤化工、工業三廢處理、醫療行業、液晶顯示組裝、航天航空等領域。帶電粒子在等離子體中相互作用，性能十分活躍，利用這一特性可實現各種材料的表面改性。

表面技術主要用于以下兩個方面。

1.等離子體表面處理：為了提高工具、模具等的性能，可以使用等離子體滲透金屬表面的氮、碳、硼、碳氮。該方法的特點是，不是在表面入復蓋層，而是改變基體表面的材料結構及其性能。在處理過程中，工件溫度低，不使工件變形對精密零件很重要。該方法可應用于各種金屬基體，主要有輝光放電氮、氮碳滲透、硼滲透。

2.等離子體在電子工業中的應用：大規模集成電路芯片的生產技術，過去采用化學方式，用等離子體方法代替后，不僅降低了工藝中的溫度，還將涂膠、顯影、腐蝕、除膠等化學濕法改為等離子體干法，使技術更加簡單，實現自動化等離子體用于材料表面改性，主要包括以下幾個方面：

①改變潤濕性(也稱為潤濕性)。有機化合物表面的潤濕性對顏料、墨水、粘合劑等的粘結性、材料表面的閃光電壓和表面泄漏電流等電氣性能有很大影響。測定潤濕性的量稱為接觸角。

②增強附著力。用等離子體活化氣體處理一些聚合物和金屬后，可以增強材料和粘合劑的結合強度。原因可能是聚合物表面的交聯增強了邊界層的附著力；或者在等離子體處理過程中引入偶極子，提高了聚合物表面的附著強度；也可能是等離子體處理消除了聚合物表面的污垢，改善了附著條件。電暈處理也有同樣的效果。