根據plasma設備中的重粒子工作溫度，能把等離子體劃分為兩種類型，熱等離子體和冷等離子體。以3×103K-3×104K，幾乎達到了熱力學平衡，有著統一標準熱力學平衡工作溫度，可以通過麥克斯韋的熱力學平衡態速度分布，波爾茲曼粒子能量分布，沙哈方程等方式確定等離子體狀態和叁數。熱等離子體能量密度高，主要運用于材料合成、球化、致密性和涂層防護。

      在低溫plasma設備中，重粒子的溫度只有室溫，而電子溫度可以達到成千上萬度，因此遠離熱力學平衡狀態，例如輝光放電屬于低溫等離子體。冷等離子主要運用于等離子蝕刻、沉積和plasma設備表面裝飾。電洗滌溫度是許多用戶關心的問題，電洗滌時，電洗滌火焰看起來也和一般的火焰差不多，而電洗滌設備如采用中頻電源，功率大，能量猛，不加水冷工作溫度也很高，若洗滌材料不耐溫，則需注意工作溫度。
       plasma設備的電源常用的是13.56KHz射頻電源，它產生的等離子密度高，能量柔軟，溫度低，通常功率為1~2KW，大功率為5KW，小功率為數百W，多功率為40KHz，中頻功率為40KHz，與射頻電源相反，電漿密度不高，但功率大，能量高，大功率為幾十KW。真空plasma設備放電射頻清潔器的溫度與平時室內氣溫也差不多，當然如果整天都在使用真空plasma設備，還是需要加水冷卻系統。
       電漿噴射的平均溫度介于200至250攝氏度。如果能夠正確設定距離和速度，表面溫度可以達到70-80℃。本工藝適用于各種標準品(金屬、陶瓷、玻璃、塑料、彈性體等)的清洗，一般采用噴射式等離子體清洗裝置，也可應用于流水線上的等離子體清洗裝置，由于流水線的不斷運轉，材料在噴嘴下停留時間較長。由于氮氣能降低等離子體工作溫度，有些噴射plasma清洗也能使用氮。電暈放電需要注意的是，plasma設備中還有一種產品叫做電暈，其實電暈也是等離子體清洗機的一種分類。電暈機的洗滌工作溫度通常較高，電暈機與噴射plasma設備的洗滌工作溫度相似，有時遇到不耐高溫的材料，還會用氮清洗。事實上，沒有必要太擔心工作溫度問題。當前的等離子清洗機能夠很好地調溫度，使材料清洗達到理想的效果。