等離子蝕刻機在等離子體腐蝕過程中，通過特定時間氣體，腐蝕性物質會變成氣相(例如，使用氟氣對硅進行腐蝕)。真空泵抽出氣體和基質物質，表面連續覆蓋新鮮氣體。不想被腐蝕的部分要用材料覆蓋(比如半導體行業用鉻覆蓋材料)。等離子體也可用于對塑料表面進行腐蝕，可用氧來進行填充。腐蝕方法作為塑料印刷和粘接的預處理方法很重要，如POM、PPS和PTFE。等離子體處理可以大大增加粘接和潤濕面積。 未經處理，腐蝕和灰化聚四氟乙烯腐蝕不能印刷或粘合。雖然活性堿性金屬的使用可以增強附著力，但這種方法不易掌握，溶液有毒。使用CRF等離子蝕刻機不僅可以保護環境，還可以（活）化物體表面，在表面形成活性層，從而達到更好的附著力。 
       在進行塑料粘接、印刷作業時，混合物的腐蝕必須（非）常小心，以免填充物過度暴露，從而削弱粘接力。氧氣、氫氣和氬氣都可以作為氣體，適用于PE,PTFE,TPE,POM,ABS和丙烯等材料的蝕刻。

       塑膠、玻璃和陶瓷的表面活性劑和清潔塑料、玻璃、陶瓷、聚丙烯、PTFE都不具有極性，因此應在印刷、粘合和涂布之前進行處理。對玻璃、陶瓷表面的微小金屬污染也可用等離子清洗。等離子處理不會損壞樣品。與此同時，整個表面處理得很均勻，不會產生有毒煙氣，空心樣品和有縫隙樣品也能處理。不需要用溶劑預處理！所有塑料都可以使用！環保！占用很小的工作空間！成本就像航天一樣，用等離子蝕刻機改變其表面性質，使其具有粘接性能，使其在塑料表面上全部濕潤。 
       

      兩種氣體同時通過涂層進入反應艙，氣體在等離子蝕刻機里聚合而成。這種應用比（活）化和清潔要求更嚴格。典型的應用是保護層的形成，用于燃料容器、防刮擦表面、類似聚四氟乙烯材料的涂層、防水涂層等。涂層很薄，通常是幾微米，此時表面的親和力很好，這就是等離子蝕刻機的工作原理，是不是感覺等離機蝕刻機不僅具有精密蝕刻功能，還具有精密清洗功能。