1.高真空氣動擋板閥(GDQ)
　　通常真空等離子清洗機在短時間待機狀態下會保持真空泵處于運行狀態，高真空氣動擋板閥用于接通或切斷真空管路中的氣流，以實現真空腔體抽真空的啟動和關閉。
　　高真空氣動擋板由壓縮空氣作為動力，穩定可靠，而且維護方便，在真空等離子清洗機中被廣泛應用。
　　2.電磁真空帶充氣閥(DDC)
　　電磁真空帶充氣閥用于真空泵隨運行參數啟動的真空等離子清洗機，屬于電磁閥類。當真空泵運行時電磁真空帶充氣閥打開，真空泵關閉時閥門線圈斷電閥門靠機械力關閉，其主要作用是防止真空泵內油氣因真空腔體內負壓作用而被倒吸。
　　電磁真空帶充氣閥安裝簡單，但穩定性相對較差，長時間使用，閥門磁力會衰退同時復位彈簧易反應遲緩，目前大多被應用于實驗型真空等離子清洗機。
　　3.手動高真空角閥
　　真空等離子清洗機所用的手動高真空角閥通常為定制型，主要用于手動控制真空氣路通斷、分斷測壓等。通常會在角閥上焊接一個KF16接頭，以便連接真空計。
　　這種閥門在真空等離子清洗中已經很少被應用，主要應用于部分實驗設備及真空管道檢漏。

      下面，我們來說說真空等離子清洗機的氣路控制布局及特點。
　　1、常用氣路控制布局
　　真空等離子清洗機常規氣路通常包括兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制、一路壓縮空氣(CDA)控制。
　　2、各氣路組成部分及特點
　　壓縮空氣控制部分只需要氣體高壓、過濾器及帶輸出報警壓力表整套組件，不需要其他的組件。因為CDA為部分元件的動力氣體，只需要在氣體壓力不足時提供報警服務即可。
　　破空氣體部分是在CDA控制氣路基礎上增加一支大口徑的真空電磁閥，在工藝運行結束后為真空腔體提供破真空氣體輸入服務。因為破真空氣體通常為高潔凈氣體，所以部分破真空氣路中沒有安裝過濾器。
　　工藝氣體通常為高潔凈氣體，過濾器通常也是選裝組件。工藝氣體控制部分主要包括調壓閥、過濾器、帶報警輸出報警表、真空電磁閥和質量控制器。工藝氣體通常配置兩路，可以根據要求配置多路。
　　3、真空等離子清洗機的氣體各控制組件及進氣順序如下：過濾器→調壓閥，帶報警輸出壓力表→真空電磁閥→質量控制器